铁铬铝线材抗塌陷性能测试研究

##1. 前言 扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺[1-2]。其炉体加热系统中的加热部件,通常采用铁铬铝大规格钢丝(φ6-8mm)绕制成大圈径螺旋(φ350mm以上)进行通电发热,使用温度一般在600-1200℃。在使用中,因螺旋圈径较大,高温工作的螺旋加热元件会产生一定程度的变形,如果设计、使用不合理,加热部件会形成严重塌陷变形,造成内衬石英管碎裂,或因加热丝变形导致加热螺旋匝间搭接打弧甚至烧毁,图 11,严重影响扩散炉的使用寿命,甚至因此造成被加热材料报废,产生较大的经济损失。为更好对比不同材料、不同丝径抗塌陷能力,模拟使用条件设计了抗塌陷性能的测试方法及测试装置,对典型材料的抗塌陷性能进行对比测试研究,为炉体设计选材提供参考依据。