会议名称：第七届国际先进光刻技术研讨会

英文名称：International Workshop on Advanced Patterning Solutions,IWAPS

届数：7

举办地点：浙江省丽水市

开始时间：2023-10-25

结束时间：2023-10-26

主办单位：中国集成电路创新联盟;中国光学学会

承办单位：中国科学院微电子研究所;丽水经济技术开发区管理委员会