会议标题第七届国际先进光刻技术研讨会

英文名称International Workshop on Advanced Patterning Solutions,IWAPS

届数第7届

会议主题就集成电路相关材料;设备;工艺;测量;计算光刻和设计优化等主题分享各自的研究成果;探讨图形化解决方案;研讨即将面临的技术挑战。

开始时间2023-10-25

结束时间2023-10-26

举办地点浙江省丽水市

主办单位中国集成电路创新联盟;中国光学学会

承办单位中国科学院微电子研究所;丽水经济技术开发区管理委员会