会议标题第八届国际先进光刻技术研讨会

英文名称international workshop on advanced patterning solutions 2024

届数第8届

会议主题主流光刻技术；新型成像技术；量测及缺陷检测；计算光刻技术等

开始时间2024-10-15

结束时间2024-10-16

举办地点浙江省嘉兴市

主办单位中国集成电路创新联盟；中国光学学会

承办单位中国科学院微电子研究所；嘉兴南湖高新技术产业园区